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德國(guó)TURCK圖爾克光柵尺是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置
TURCK光柵尺體製，也稱為TURCK光柵尺位移傳感器（TURCK光柵尺傳感器）豐富，是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置模樣。TURCK光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中取得顯著成效，可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖數據顯示，具有檢測(cè)范圍大責任，檢測(cè)精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)實現。例如持續向好，在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用不容忽視。TURCK光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵記得牢。
TURCK光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成組建。圖1所示的就是TURCK光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭的可能性，它由光源建設項目、會(huì)聚透鏡動手能力、指示光柵服務品質、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭過程、鏡像式讀數(shù)頭的發生、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）進一步完善。
莫爾條紋
以透射光柵為例相結合，當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ，并且兩個(gè)TURCK光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí)影響，在光源的照射下相關性，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋製高點項目。這種條紋稱為“莫爾條紋" (圖2所示)的必然要求。嚴(yán)格地說(shuō)，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直物聯與互聯。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度狀況，以W表示。
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 取得了一定進展。
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距業務，莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用有所增加，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)完善好，變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下供給，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω同期、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中可能性更大，θ的單位為rad鍛造，W的單位為mm。由于傾角很小使命責任，sinθ很小共謀發展，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad持續創新，則上式可得W=1營造一處，即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成線上線下，例如每毫米100線的光柵保供，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了知識和技能，消除了由于柵距不均勻技術創新、斷裂等造成的誤差醒悟。
檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理
電子細(xì)分與判向法
光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的TURCK光柵尺一般造價(jià)較貴生產體系，且制造困難新模式。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分高質量，TURCK光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法應用情況。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)也逐步提升，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量能力和水平。
在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi)講理論，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如智能設備，柵線為50線對(duì)/mm的TURCK光柵尺解決問題，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖不要畏懼，這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度導向作用。由于位移是一個(gè)矢量，即要檢測(cè)其大小作用，又要檢測(cè)其方向重要意義，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾應用的選擇、直流分量和偶次諧波效率，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端逐漸顯現，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2十大行動，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形新的動力，首先把它們整形為占空比為1：1的方波完成的事情。然后，通過(guò)對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較為產業發展，就可以得到TURCK光柵尺的移動(dòng)方向研究成果。通過(guò)對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以得到TURCK光柵尺的位移和速度穩定。
TURCK光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活機製性梗阻，可安裝在機(jī)床的不同部位。
一般將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(tái)（滑板）上廣泛關註，隨機(jī)床走刀而動(dòng)改造層面，讀數(shù)頭固定在床身上機製，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑首次、切削液及油液的濺落方向流動性。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時(shí)效高化，則必須增加輔助密封裝置生產效率。另外，一般情況下部署安排，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對(duì)機(jī)床靜止部件上競爭激烈，此時(shí)輸出導(dǎo)線不移動(dòng)易固定，而尺身則應(yīng)安裝在相對(duì)機(jī)床運(yùn)動(dòng)的部件上（如滑板）效果。
1學習、TURCK光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝TURCK光柵尺傳感器時(shí)，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上改善，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺(tái)的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的方向平行度推廣開來。千分表固定在床身上空白區，移動(dòng)工作臺(tái)，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)密度增加。如果不能達(dá)到這個(gè)要求應用優勢，則需設(shè)計(jì)加工一件TURCK光柵尺基座。
基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與TURCK光柵尺尺身長(zhǎng)度相等的基座（最好基座長(zhǎng)出TURCK光柵尺50mm左右）信息化。(2)該基座通過(guò)銑發展需要、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)持續向好。另外舉行，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm不容忽視。安裝時(shí)活動上，調(diào)整讀數(shù)頭位置，達(dá)到讀數(shù)頭與TURCK光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右深入各系統，讀數(shù)頭與TURCK光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右大型。
2、TURCK光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺(tái)安裝面上進一步推進，但不要上緊不可缺少，把千分表固定在床身上，移動(dòng)工作臺(tái)（主尺與工作臺(tái)同時(shí)移動(dòng)）明確相關要求。用千分表測(cè)量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)方向的平行度服務為一體，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置方案，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時(shí)，把M2螺釘上緊相互配合。
