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德國SCIK施克光柵尺是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置
SICK光柵尺體驗區,也稱為SICK光柵尺位移傳感器(SICK光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置品質。SICK光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中提供了遵循,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖能運用,具有檢測范圍大利用好,檢測精度高,響應(yīng)速度快的特點講理論。例如有望,在數(shù)控機床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差解決問題,以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用服務效率。SICK光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵導向作用。
SICK光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成蓬勃發展。圖1所示的就是SICK光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵檢測裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭重要意義,它由光源問題、會聚透鏡、指示光柵效率、光電元件及調(diào)整機構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭高效化、鏡像式讀數(shù)頭大大提高、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭)完成的事情。
莫爾條紋
以透射光柵為例關規定,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,并且兩個SICK光柵尺刻面相對平行放置時應用前景,在光源的照射下指導,位于幾乎垂直的柵紋上可以使用,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋" (圖2所示)關註點。嚴格地說廣泛認同,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度建強保護,以W表示服務好。
W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對移過一個柵距流動性,莫爾條紋移過一個條紋距離效高化。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù)反應能力,變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步部署安排。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω投入力度、柵線角θ之間有下列關(guān)系效果。式中,θ的單位為rad技術,W的單位為mm改善。由于傾角很小,sinθ很小結構重塑,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm推廣開來,θ=0.01rad,則上式可得W=1貢獻法治,即光柵放大了100倍密度增加。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵技術研究,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了建立和完善,消除了由于柵距不均勻特征更加明顯、斷裂等造成的誤差。
檢測與數(shù)據(jù)處理
電子細分與判向法
光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進行測量啟用。高分辨率的SICK光柵尺一般造價較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率活動上,需要對莫爾條紋進行細分達到,SICK光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時大型,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋的可能性,隨著光柵的移動進一步推進,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量系列。
在一個莫爾條紋寬度內(nèi)明確相關要求,按照一定間隔放置4個光電器件就能實現(xiàn)電子細分與判向功能。例如方案,柵線為50線對/mm的SICK光柵尺特點,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖統籌發展,這在工業(yè)普通測控中已達到了很高精度品質。由于位移是一個矢量,即要檢測其大小慢體驗,又要檢測其方向深化涉外,因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾即將展開、直流分量和偶次諧波向好態勢,通常采用由低漂移運放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端創新科技,從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2更默契了,為得到判向和計數(shù)脈沖,需對這兩路信號進行整形服務機製,首先把它們整形為占空比為1:1的方波流程。然后,通過對方波的相位進行判別比較培訓,就可以得到SICK光柵尺的移動方向運行好。通過對方波脈沖進行計數(shù),可以得到SICK光柵尺的位移和速度紮實。
SICK光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活同期,可安裝在機床的不同部位。
一般將主尺安裝在機床的工作臺(滑板)上可能性更大,隨機床走刀而動鍛造,讀數(shù)頭固定在床身上,盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方使命責任。其安裝方式的選擇必須注意切屑共謀發展、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時持續創新,則必須增加輔助密封裝置創造。另外,一般情況下分析,讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對機床靜止部件上,此時輸出導(dǎo)線不移動易固定不難發現,而尺身則應(yīng)安裝在相對機床運動的部件上(如滑板)。
1聽得進、SICK光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝SICK光柵尺傳感器時深入,不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上,更不能安裝在打底涂漆的機床身上全技術方案。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上基本情況。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導(dǎo)軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上重要的,移動工作臺充分發揮,要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達到這個要求高端化,則需設(shè)計加工一件SICK光柵尺基座全面展示。
基座要求做到:(1)應(yīng)加一根與SICK光柵尺尺身長度相等的基座(最好基座長出SICK光柵尺50mm左右)。(2)該基座通過銑充分發揮、磨工序加工服務,保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外相互融合,還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座選擇適用。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時不要畏懼,調(diào)整讀數(shù)頭位置導向作用,達到讀數(shù)頭與SICK光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,讀數(shù)頭與SICK光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右作用。
2重要意義、SICK光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上,但不要上緊應用的選擇,把千分表固定在床身上效率,移動工作臺(主尺與工作臺同時移動)。用千分表測量主尺平面與機床導(dǎo)軌運動方向的平行度逐漸顯現,調(diào)整主尺M4螺釘位置十大行動,使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時,把M2螺釘上緊高質量。